HOIRBA拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器包含数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门。晶圆冷却系统使用氦气以降低热损害。排气压力控制器可始终维持腔体内压力的稳定。这些器件始终致力于提高制程工艺中的成品率

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。

HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有****的市场份额。

特征

可使用DeviceNet控制接口

符合**环保要求的RoHS处理

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

适合高真空环境使用：不锈钢质本体

抗腐蚀

使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供

适合对于腐蚀性气体的使用

当排气端流量被调整到**的位置：

抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的

阻止了喷雾的次级沉积

阻止了危险水蒸气的扩散

此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小

此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口**件。