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显微视觉中的显微立体视觉能够实现立体成像功能,近年来越来越受到重视,在微操作、微装配、微注射、微测量等领域得到了广泛的应用。显微立体视觉系统不同于宏观立体视觉系统的显著特点就是在成像过程中加入了放大环节,因此,显微镜是实现显微立体视觉系统不可或缺的组成部分。扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope,SEM) 具有放大倍率高、焦深大、分辨率高等特点,是这一领域应用较多的一种显微镜,但其不足之处是操作复杂且设备昂贵。相对于扫描电子显微镜,体视显微镜 (Stereo Light Microscope,SLM)在这方面的应用相对少些。SLM具有工作空间大、工作距离大、便于微观对象的操作、非接触式观测、对微观对象无损伤和实时性好等优点,它的应用日益广泛。