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EdwardsXDS和nXDS系列干式涡旋泵
Edwards干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。
当需要无油抽空时,涡旋泵是旋片泵的替代品。
EdwardsXDS35i干式涡旋泵
XDS干式涡旋泵
在干泵真空领域,XDS干式涡旋泵已成为行业标准,在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。
现在,结合双启动涡旋形式技术和旁通阀,Edwards得以提供XDS35i增强型系列泵,以补充我们原有的产品线。
EdwardsnXDS15i干式涡旋泵
EdwardsnXDS15i干式涡旋泵
nXDS干式涡旋泵
nXDS是我们新一代的涡旋泵,与其他泵相比,具有更高的抽取速度、更低的极限压力、更低的功耗和更低的噪声级。
nXDS泵的设计力求实现完全现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔可降低拥有成本,使其成为当今技术**的小型干泵。
轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。
智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流速气囊功能
允许泵送蒸汽,包括高达240gh-1的水蒸汽
简便的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并程度延长正常运行时间。
nXDS10i爱德华涡旋泵维修更进一步
增强型在初始抽空期间可减少多达20%的峰值电力需求,这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室,且在该粗抽压力下抽取速度可提高达25%,这也有助于提高应用循环频率。
nXDS干式涡旋泵
改善工作环境,降低环境影响
运行安静
操作简单
控制装置智能且易于使用
无污染、无油
全密封、免润滑的真空环境
低使用成本
服务间隔长,功耗低
更快的制程
蒸汽处理
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