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信息标签:在线椭偏仪,供应,机械及行业设备

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 在线椭偏仪仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。技术参数：·可实现**、实时在线监测样品膜层变化

在线椭偏仪仪器介绍

在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。

在线椭偏仪技术参数

·可实现**、实时在线监测样品膜层变化

主要特点

将激发和探测头引入生产设备，可实现:

·动态模式:实时监测膜厚变化

·光谱模式：监测薄膜的界面和组分

更多：在线椭偏仪
https://www.chem17.com/st195664/list_1291229.html
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