透明??y定

透明工件??y定

LT-9000系列可以?y量表面情?r、膜厚以及透明物?的厚度。此外，它的?A斜校正功能使得?y量更??可靠。它?可以精??y量光碟的中??印?/p>

?y量?阻膜厚

?y量?阻膜厚

LT-9000系列表面?呙梃D射共?焦位移?可用於?y量混合晶片?阻上的?阻元件的膜厚。?y量?r的解析度**可以?到0.01m。LT-9000有著?一?o二的高精度表面?呙璺绞剑?蚨?梢苑?定的?y量厚度，不??艿教沾杀砻娴牟馁|和?阻元件表面的影?。

?y量透明?T??/p>

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使用LT-9000系列表面?呙梃D射共?焦位移??o需物理接?就可以?y量板上透明?T?拥暮穸取?y量?r的解析度**可以?到0.01m。LT-9000有著?一?o二的高精度表面?呙璺绞剑?蚨?梢宰プ⊥该魑矬w的前表面和後表面?行厚度?y量。此外，在不同的表面情?r或材?下依然能保持精?性不?。

高精密度??呙璺绞?/h3>

**首??2??呙?/h4>

整合了音叉元件和?u?釉??母呔?芏入p?呙璺绞健⒉皇懿馁|、?色、或是?A斜度影?之位移‧外形?y定器?生了。

Z ??呙?/h4>

音叉元件的共焦?方式，???高精密度的?y量。

X ??呙?/h4>

?u?釉???M向?呙璺绞剑?非笥猛竞头?定性的表?。

新?品 LT-9030M型

• 30mm ??y距???br /> • ?y定???1mm ~ +1mm
• ?O小光?7μm
• 解析度0.1μm/0.3μm

比????/dt>

LT-9030M的???蠹s是LT-9010M的五倍，因而安?更???活。

0.3µm 的高解析度可?y定所有的?ο笪?/h3>

利用共焦?和音叉的高精密度?y定方式

雷射光籍由音叉透?高速上下移?忧彝ㄟ^?ξ锿哥R後，在受?y?ο笪锷辖Y合?橐唤裹c。同?r反射光也??卺?孔位置集合?橐稽c，?K使受光元件受光。藉由感?y器?y定入光瞬?的?ξ锿哥R之位置，因此至目?宋镩g的距?能不受材?、?色、或?A斜度的影?而能正?地?y定。

改善了高性能?z?y

因同?方式???了高性能?z?y

焦?未???ο笪?r

反射光?缀?o法透??孔。

焦????ο笪?r

反射光可以透??孔。

?M向?呙璺绞侥?蜻\用在各方面的?y定

?u?釉???M向?呙璺绞剑?非笥猛竞头?定性的表?。

可依用途而自由改??呙璺??/h4>

可配合用途和?ο笪锏谋砻??B而?更雷射的?呙璺?取Ａ硗饪山逵?呙???挠?算而?y定出高?定性的位移?y定。

高速自???梗?商峁?r明的?D像

?y定部?冉ㄓ谐?⌒偷?CD 相?C。可?幕上??ο笪锓糯蠹s85 倍※。由於?裼昧?Ｓ玫墓?W??，可?得?明的?D像，在微?工件的?定上也?得更加容易。(※?使用8.4"?示器?r)

即?r?示?y定值和波形

配??y定值以及波形的即?r?示功能。可?易?察位移‧形?畹馁Y料。

提升控制的自由度

只有?那?C?的一半大小，?K附有??逝?渲??比?出2ch、RS-232C ?出、判定?出2ch、二位元?出等界面