本标准采用下列定义.

　　3.1电子级水electronic grade water

　　制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水. 3.2电阻率resistivity

　　在规定温度下,1 cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值.通常用符号P表示，单位为Ω?cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ?cm (25℃). 3.3全硅total silicon

　　水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量. 3.4可溶性硅soluble silicon

　　以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐. 3.5微粒性物质granular matter

　　除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质. 3.6总有机碳(TOC) total organic carbon

　　水中以各种有机物形式存在的碳的总量.包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。 3.7吸附absorption

　　某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

　　3.8凝聚coagulation

　　在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。 3.9絮凝flocculation

　　水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。 3.10砂滤器sand filter

　　用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。 3.11 活性碳过滤器activated carbon filter

　　装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。 3.12离子交换ion exchange

　　一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化.

　　3.13去离子水deionized water

　　经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。 3. 14再生regeneration

　　离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。 3.15复合床complex bed

　　将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。 3.16混合床mixed bed

　　将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦. 3.17电渗析electrodialysia

　　一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜;阴离子则相反.这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。 3.18反渗透reverse osmosis

　　亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的.

　　3.19反渗透膜reverse osmosis membrane

　　用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0. 02 μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。 3. 20微孔膜滤器membrane filter

　　一种平均孔径(直径)大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

　　3.21超过滤uhrafihration

　　一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等.