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品牌:纽瑞德特气
发货:3天内
信息标签:三氟化氮气体 纽瑞德特气厂家供应 价格实在,供应,化工,其他未分类

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纽瑞德特气高纯三氟化氮参数(www.qiti88.com)：

钢瓶容积	钢瓶型号	阀门	钢瓶压力	气体质量	危规号	UN编号	包装分类	包装标志
47L、43.3L、40L、8L	DOT-3AA、GB5099	CGA330、CGA640	9.0-13.0MPa	22kg、20kg、3.4kg	23016	2451	Ⅱ	6

杂质	NF3≥99.995% Vol.%	NF3≥99.99% Vol.%	NF3≥99.98% Vol.%	NF3≥99.9% Vol.%
CF4	≤20 Vol.ppm	≤40 Vol.ppm	≤100 Vol.ppm	≤500 Vol.ppm
N2	≤5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
O2+Ar	≤3 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
CO2	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
H2O	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1  Vol.ppm
酸份（以HF计）	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1  Vol.ppm
SF6	≤1 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤25 Vol.ppm
N2O	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
CO	≤0.5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm

其它参数：
化学式     NF3
摩尔质量     71.0019 g·mol¹
外观     无色气体
密度     3.003 kg/m3 (1 atm, 15 °C)
1.885 g/cm3 (沸点时，液态)
熔点     −207.15 °C（66 K）
沸点     −129.1 °C（144 K）
溶解性（水）     0.021 vol/vol (20 °C, 1 bar)

产品用途：

可以用作氟化氢激光器的氧化剂，半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。  三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择 性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。



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