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样品种类 及检测对象 |
检测参数 |
高纯气体 超纯气体 |
检测指标 |
气体样品:氢气、氧气、氮气、氦气、氩气、甲烷、硅烷、二氧化碳、氨、六氟化硫; 分析指标:气体纯度、水分含量、氧含量、氩含量、氮含量、氢含量、甲烷含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、总烃含量、杂质总含量等 |