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氮气-高纯气体-高纯氮气-超高纯气体

 氧和氮的发现几乎是同时的，1772年卡文迪什分离出氮气，称它为“窒息性的空气”。但是，他没有及时公布自已的成果。英国医生、化学家丹尼尔。卢瑟福于同年发表了论文，因此，都认为氮是由卢瑟福发现的。高纯氮气用途：化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保护介质，速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂，电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等，还用作标准气体、校正气、零点气、平衡气等。