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超纯氨气金属杂质分析 
　　电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）可以测定绝大多数金属元素和部分非金属元素，具有元素覆盖范围宽、灵敏度高、检出限极低、分析速度快、线性范围宽等技术优势。其原理为ICP等离子源的主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置使氩气电离，则氩离子和电子在电磁场作用下又会与其它氩原子碰撞产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流产生高温，瞬间使氩气形成温度可达10000k的等离子焰炬。当样品溶液经雾化器的雾化作用形成气溶胶，进入雾室，经雾室选择后，较小直径的气溶胶在高温的等离子体中被去溶、蒸发、原子化和离子化，绝大部分变成带一个电荷的正离子，离子在高速喷射流的作用下，经采样锥和截取锥后进入质谱仪的真空系统，在离子透镜的能量聚焦作用后，不同质荷比离子选择性地通过四级杆质量分析器，**后到达检测器进行检测。