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　光腔衰荡光谱法是用单模连续激光使高反射镜面组成的光腔储存能量增加，在切断光源后，储存的能量就会随时间而衰减，衰减的速度与光腔的损失（透射+散射+分子吸收）有关。被测分子的密度可以通过测量两个激光频率下的衰荡速度来决定：一个是在吸收峰的衰荡速度τ（ν），另一个是没有吸收时的衰荡速度 τempty 
　　式中： 
　　τempty?没有吸收时的衰荡时间常数； 
　　τ（ν）?在激光频率ν时的衰荡时间常数； 
　　σ（ν）?分子在激光频率ν时的吸收截面 ； 
　　c?光速； 
　　N?分子密度，与**浓度成正比。如式（1）所示，气体中痕量水分含量取决于两个“时间”的测量[3]。光腔衰荡光谱法检测超纯氨中微量水分含量不仅具有高灵敏度，**的响应速度，**高的精度，**检测下限可达10-9级浓度等特点，且还具有自动校正功能，没有耗材，维护成本低，使用方便。