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超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反应为：750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料，NH3的质量好坏直接决定发光二极管（LED）的亮度，它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继爱迪生发明电灯后，人类又一次照明工业的革命，发达国家（包括我国**省在内）为在此领域获得更大的主动权，纷纷成立国家照明工作委员会，LED现已产业化生产，**生产的LED已大量进入我国市场，为打破专利垄断，中国成立了照明工作领导办公室，中国将在2006年全面推广半导体照明，届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三甲基镓（被称为MO源）反应，生成GaN半导体的，其反应为650℃Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛，处于成熟期，因此，极大推动气体公司对氨提高纯度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N，被称为“Blue Ammonia”。
