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超纯氨的分子式是分子式:NH3,超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为: 750—850℃ :SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ,850—900℃ :SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料,NH3的质量好坏直接决定发光二极管(LED)的亮度,它的价格高低左右着LED的经济性。高纯氨在常温常压下为具有特殊刺激性恶臭的无色有毒气体,比空气轻。氨在常温下稳定,但是在高温分解成氢和氮。一般在一个大气压下450~500℃时分解,如果有铁、镍等催化剂存在,可在300℃时分解。