超纯氩气（GB/T16945-2009）

项目名称

指标

超纯氩气

氩气（Ar)的体积分数/10-2              ≥

99.9999

氢气（H2)的体积分数/10-6              ≤

0.1

氧（O2）的体积分数/10-6               ≤

0.2

氮（N2)的体积分数/10-6                 ≤

0.5

 甲烷（CH4)的体积分数/10-6             ≤

—

一氧化碳（CO)的体积分数/10-6        ≤

0.1

 二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6       ≤

0.1

 总烃（以甲烷计）含量/10-6            ≤

0.1

水分/10-6                                   ≤

0.2

注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。