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电子工业用气体-氩指标(GB/T16945-2009)
指标名称 |
指标 |
氩纯度,10-2 大于等于 |
99.9992 |
氢含量,10-6 小于等于 |
1 |
氧含量,10-6 小于等于 |
5 |
氮含量,10-6 小于等于 |
0.5 |
一氧化碳和二氧化碳总含量,10-6 小于等于 |
0.5 |
总烃含量(以甲烷计),10-6 小于等于 |
0.5 |
水分含量,10-6 小于等于 |
0.5 |
颗粒 |
供需双方商定 |