HORIBA流量传感器Gas flow meter FM-10-M,stec

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、**响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择**适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

****的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

特征

压力不敏感性

高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统

多量程,多气体,多种压力的解决方案

新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围

G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)

**G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力

高精度

**的三维调节已改进工艺气体的流量精度

**响应

响应速度＜0.8秒

已实现精准且稳定的流量控制

动态范围

控制范围：0.2% F.S. ~ 100% F.S.

制造: HORIBA STEC

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