微波等离子清洗机参数：
材质：石英玻璃
容积：6公升
腔体尺寸：直径150mm，深度260mm
腔体后部：铝
腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；
气体分布：前门扩散
观察视窗：防紫外及微波
支撑架：铝质材料，
真空连接：DN25 ISO-KF
压力控制：Pirani，1-100Pa
真空泵：**25m3/h
真空阀：电子气动阀，DN25 ISO-KF
真空密封：硅树脂
气体供应：
气体通道：1路数字MFC，装有电磁阀，500sccm（N2校准），1/4" Swagelok接头
卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头
功率：2.45GHz，50-600W连续可调
耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极
系统控制：
PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
7”触摸屏、图形用户界面
Windows Office兼容
存储处理数据和错误信息，处理数据输出
工艺参数图形曲线的 监测
自动或手动操作
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