330180-90-CN_供应_中贸商网-贸易商务资源网

330180-90-CN

发布时间:2019-11-15 17:27:31 产品编号:GY-5-225675577 分享

价格:未填
发货:3天内
信息标签:330180-90-CN,供应,机械及行业设备,金融专用设备

联系时一定要说在【贸易商务资源网】看到的将给您优惠！如果您也想和该公司一样在网站发信息有好排名，点击立即免费注册，发布产品推广。

由图1所示系统硬件包括三个闭环控制：　　① 温度控制：采用JC-9温度检测模块实现温度检测，通过PLC调用PID控制算法控制自行研制的三相大功率调压调功单元来实现温度的控制，实现闭环控制。　　温度控制是扩散工艺控制系统中**的环节，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。要保证控温的精度首先要保证温度的检测精度，其次要有相应的控制算法。系统采用的JC-9温度检测模块的检测精度优于0.5‰，编写模糊自整定PID控制算法使控制精度优于1‰。　　② 气体流量控制：PLC从气体质量流量计的数字接口直接读取气体实际流量值，并根据扩散工艺中对气体流量的要求通过数字接口进行流量输出控制，实现闭环控制。　　③ 推拉舟控制：PLC直接读取推拉舟位置编码器的数据来判断推拉舟的位置，通过高速脉冲输出口控制步进电机的驱动器来控制步进电机的运行，通过发送脉冲数控制推拉舟的位置，通过脉冲的频率控制推拉舟的速度。实现推拉舟的位置/速度闭环控制。 3 系统软件设计　　系统软件设计包括触摸屏操作界面设计、模糊自整定PID控制算法设计及Modbus通信程序设计。　　3.1 触摸屏操作界面[3] 　　触摸屏为人机对话界面，具有画面丰富，信息量大、操作灵活直观的特点。针对半导体扩散工艺及系统功能需求，设计用户界面主要界面包括：自动运行界面，手动运行界面，工艺参数设置界面，工艺曲线绘制界面，PID参数自整定界面等。 Proface GP2500-TC11 3180021-01

Yokogawa DD Servo Actuator UR1BG3 UR1BG3-060N-6KC-2TA-N

Yaskawa servopack CACR-SR05BC1ES-Y278

Heidenhian LC483/10nm

EXFO PLQ0093B AR0079B

Computer recognition systems 8937-0000

Royce instruments 12347 rev 2

Nikon 4S007-682-L IU-EX4

Nikon 4S007-862 TTL-XY2

Hitachi Zosen HIMV-134B & HIMZ1340

Kulicke & Soffa 4123-4101-0

Heurikon HK68/V2FA KLA 712-404056-00

Disco Panasonic MAC998FB FBPCB-0381

Innovadyne PCB 10343 & 175-0201

SANMEI SK0025 Ver-940301

Adlink NUPRO-842DV/P

Keyence CV-500 & CV-050

Screen VWH-1S 23427170-71

SINE-8456EV

SHINKAWA FRP-227A

Solartron 35950523C S-NET

FTSS 120mm laser PRE-AMP bd. K508-1258-01

Omron NT31C-ST141-EV1

Force Elbrus SBC Flexor P/N: 1

联系方式

公司: 厦门阿米控技术有限公司
状态:离线发送信件
姓名:徐工(女士)
电话:0592-5087595
手机:18020776785
传真:0592-5165561
地区:福建-厦门市
地址:福建省厦门市思明区湖滨南路388号国贸大厦32C

邮编:361000
QQ:2851195453
阿里旺旺:大太阳00900399274
商铺:http://m.ceoie.com/lujun/

去厦门阿米控技术有限公司怎么走？上图中的红点是厦门阿米控技术有限公司在厦门市的具体位置标注，操作左上角地图工具可以放大缩小哦。

分享到