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步进电机的基本原理 
步进电机作为执行元件，是机电一体化的关键产品之一, 广泛应用在各种自动化控制系统中。随着微电子和计算机技术的发展，步进电机的需求量与日俱增，在各个国民经济领域都有应用。
步进电机是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(称为“步距角”)，它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的；同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度，从而达到调速的目的。步进电机可以作为一种控制用的特种电机，利用其没有积累误差(精度为100%)的特点，广泛应用于各种开环控制。
现在比较常用的步进电机包括反应式步进电机（VR）、永磁式步进电机（PM）、混合式步进电机（HB）和单相式步进电机等。
永磁式步进电机一般为两相，转矩和体积较小，步进角一般为7.5度 或15度；
反应式步进电机一般为三相，可实现大转矩输出，步进角一般为1.5度，但噪声和振动都很大。反应式步进电机的转子磁路由软磁材料制成，定子上有多相励磁绕组，利用磁导的变化产生转矩。
MDX Pinnacle AE Advanced Energy 3152428-111 6kW
AE Advanced Energy 3155086-001 C RF AMAT 1110-01043
Spectrum B-5002 ENI B-5002-01 RF Rev. E AMAT 0920-00062
MDX AE 3152194-013
RGA-50C Daihen RGA-50C-V RF
Daihen WGA-50E-V RF DC WGA-50E
MDX AE 3152194-004
CX-2500 Comdel FP3305R1 RF 3.39MHz
Novellus R02-281532-00 RF
Novellus 02-304871-00 RF SST-PEEK 1.12
Liebert CACO15C4 Datawave 1 KLA-Tencor eS20XP
MDX Pinnacle AE Advanced Energy 3152412-264 AMAT 0190-25692
DCG-200Z ENI DC24M-Z141300110A RF AMAT 0190-07964
DCG-200Z OPTIMA ENI DCG-100Z-00 AMAT 0190-10114
DCG-200A ENI DC24M-A041300110AL RF Rev. D AMAT 0190-07962
DCG-200Z ENI DC22M-Z041300111A RF Rev. P AMAT 0190-07961
DCG-200Z ENI DC22S-Z122000010A RF Rev. F 0190-07965
DCG-600Z Optima ENI SPR S03-108 RF AMAT 0190-14207 