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高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程，生产过程中将有冷量损失，有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失；有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程，但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机，取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。无膨胀机的高纯氮气生产装置的液氮补充量约占高纯氮气产量的3%左右 整套高纯氮气现场生产装置除 了空气压缩机、热部、冷箱之外，还有一个重要的部分即液氮（或高纯液氮）系统。这个液氮（或高纯液氮）系统有三个功能；可补偿生产过程中的冷损；用气量的调峰，氮气生产装置停机是产品气的备用。