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成分 |
高纯氦气 |
单位 |
|
氦气 |
≥ |
99.999% |
%V |
氖气 |
≤ |
4 |
ppmv |
氢气 |
≤ |
1 |
ppmv |
氧气 |
≤ |
1 |
ppmv |
氮气 |
≤ |
2 |
ppmv |
一氧化碳 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
二氧化碳 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
甲烷 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
水份 |
≤ |
3 |
ppmv |