快恢复二极管的的所有工艺步骤，要求必须洁净，集成电路全部在经特殊设计减少粘污的“超净间”中制作，通过巨大的过滤器不断地清洁空气。超净间中的空气压力高于室外，因此当

门打开时空气只会流出不会流进，通过前厅进入超净间，在超净间的门打开之前要先关闭通往外面的门。

  潜在的最大污染源来自于工作人员。必须避免掉落的睫毛、死皮组织，小到无法看见的粘污和晶圆接触。因此所有的超净间工作人员都穿着“巴尼兔的衣服”(图1)，盖住他们的衣服、皮肤、头发、手、鞋等。图中，地上的孔帮助清洁空气的循环。

 

图1 超净间。所有人员必须穿着特制服装以防止对晶圆的粘污。