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信息标签:Horiba 小流量液体质量流量计LF-F、质量流量控制器LV-F,供应,仪器仪表,流量仪表
Horiba 小流量液体质量流量计LF-F、质量流量控制器LV-F
Horiba小流量液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭载有**上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
选型要求:按以下规格确认型号,并请提供参数:介质名称、量程、接口尺寸。
名称 |
质量流量控制器 |
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型号 |
LV-F20 (PO/MO) |
LV-F30 (PO/MO) |
LV-F40 (PO/MO) |
LV-F50 (PO/MO) |
LV-F60 (PO/MO) |
全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
检测控制范围 |
5〜100% F.S. |
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对象液体种类*1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
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液体粘度*2 |
低于 0.01 Pa·s (10cp) |
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精度*3 |
±1% F.S. |
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直线性*3 |
±0.5% F.S. |
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重复性*3 |
±0.5% F.S. |
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响应精度 |
3秒以内(T98) |
2秒以内(T98) |
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使用环境温度*4 |
5〜50℃(15〜45℃精度的确保) |
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温度影响Span |
±0.1%F.S./℃ |
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工作差压值*5 |
0.05〜0.3MPa |
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耐压 |
1MPa |
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压力损失 |
? |
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流量设定信号 |
模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议) |
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流量输出信号 |
模拟:0〜5 VDC(**小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议) |
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驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
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外部泄漏规格 |
PO类型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO类型:5×10-12Pa•m3/s (He) |
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接液部材质 |
PO类型:SUS316L,Ni,PTFE,PFA MO类型:SUS316L,Ni |
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标准接头 |
1/16”,1/8”卡套; 1/8”VCR |
1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 |
1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
名称 |
质量流量计 |
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型号 |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
检测控制范围 |
5〜100% F.S. |
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对象液体种类*1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
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液体粘度*2 |
不高于 0.1 Pa·s (100cp) |
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精度*3 |
±1% F.S. |
||||
直线性*3 |
±0.5% F.S. |
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重复性*3 |
±0.5% F.S. |
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响应精度 |
3秒以内(T98) |
2秒以内(T98) |
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使用环境温度*4 |
5〜50℃(15〜45℃精度的确保) |
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温度影?Span |
±0.1%F.S./℃ |
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工作差压值值*5 |
不高于5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀) |
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耐压 |
10MPa (视为流量计) |
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压力?p失 |
不高于 500Pa |
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流量设定信号 |
模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议) |
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流量输出信号 |
模拟:0〜5 VDC ;数字式:RS485(F-Net通信协议) |
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驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
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外部泄漏规格 |
5×10-12Pa·m3/s (He) |
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接液部材质 |
SUS316L, Ni |
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标准接头 |
1/16”,1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 |
1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 |
1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
*1:LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时,请预**行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2:LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 **值,0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预**行咨询协商。
*3: 以SEMI E56-1296为准。
*4: 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。
*5:这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。