同时提供太阳能扩散炉其它备件：恒温水槽BV100S、BV100、BV200及其配件：VS4控制器、按钮板，电路板LFA150F、LDA150W、LCA150S、LFA10F、LDA10F，风扇；

扩散炉、PECVD等用horiba质量流量计，SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E440J、SEC-N112、SEC-N114、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM，parker DISS632，8V1-P8VE-11AO-SSV-PE，8V-C08L-1/3-V-SS-PP、PFA CV-1-2244，PFA CV-1-2266等。