品牌:日本Horiba
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发货:3天内
信息标签:Horiba小氮流量计SEC-E40, 5SLPM,供应,能源,太阳能设备
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Horiba小氮流量计SEC-E40, 5SLPM
发布时间:2017-03-15 23:48:38 产品编号:GY-5-129964485 分享
价格:7600.00/台
品牌:日本Horiba
起订:1台
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信息标签:Horiba小氮流量计SEC-E40, 5SLPM,供应,能源,太阳能设备
品牌:日本Horiba
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信息标签:Horiba小氮流量计SEC-E40, 5SLPM,供应,能源,太阳能设备
HoribaseC-E40 质量流量控制器
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
概要
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
技术规格
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型号
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SEC- (质量流量控制器)
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SEC-E40、SEC-E40MK3
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SEC-E50、SEC-E50MK3
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SEF- (质量流量计)
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SEF-E40
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E50
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适用气体种类*1
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非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
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气体接触部材质
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SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
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阀门型号
|
非通电时 关闭
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标准流量量程 (N2相应F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范围
(适于SEC系列) |
2〜100% F.S.
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|
流量测量范围
(适于SEF系列) |
0〜100% F.S.
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响应速度
|
1秒以内(T98)
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流量精度
|
±1% F.S.
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|
直线性
|
±0.5% F.S.
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|
反复性
|
±0.2% F.S.
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工作差压值值
(适于SEC系列) |
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
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使用压力
(适于SEF系列) |
300kPa(G)以下
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耐 压
|
1MPa(G)以下
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|
外部泄漏率
|
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
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使用环境温度
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5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
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流量设定信号
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0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
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流量输出信号
|
0〜5VDC(**小负荷电阻2kΩ)
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驱动电源
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+15VDC ±5% 50mA
-15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA
−15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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标准接头*2
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1/4SWL 类型
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型号
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SEC- (质量流量控制器)
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SEC-E60
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SEC-E70
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SEC-E80
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SEF- (质量流量计)
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E60
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E70
|
E80
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适用气体种类*1
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N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10
|
N2、O2、Air、H2
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气体接触部材质
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SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢
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阀门型号
|
非通电时 关闭
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标准流量量程 (N2相应F.S.)
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50/100 SLM
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200 SLM
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300/500 SLM
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流量控制范围 (适于SEC系列)
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5〜100% F.S.
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流量测量范围 (适于SEF系列)
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0〜100% F.S.
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响应速度
|
1秒以内(T98)
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2秒以内(T98)
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|
流量精度
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±1% F.S.
|
±2% F.S.
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|
直线性
|
±0.5% F.S.
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±1% F.S.
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|
反复性
|
±0.5% F.S.
|
±1% F.S.
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工作差压值值(适于SEC系列)
|
100〜300kPa(d)
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200〜350kPa(d)
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使用压力 (适于SEF系列)
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350kPa(G)以下
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耐 压
|
1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-7Pa・m3/s(He)以下
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450kPa(G)加压10分钟减压1%以内
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使用环境温度
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5〜45℃(精度的确保：15〜35℃)
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流量设定信号
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0.25〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5〜100% F.S.
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流量输出信号
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0〜5VDC(**小负荷电阻2kΩ)
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驱动电源
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＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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标准接头*2
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3/8SWL 类型
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1/2SWL 类型
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*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：**值300kPa(G)；SEC-70/80：**值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：**值300kPa(G)；SEC-70/80：**值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
联系方式
公司:上海进佳科学仪器有限公司
状态:离线 发送信件
姓名:宋先生(先生)
电话:18930835460
手机:18930835460
地区:上海-浦东新区
地址:上海市浦东新区峨山路77号金牛大厦南楼1002
邮编:20017
QQ:1184645115
阿里旺旺:dwyershanghai
商铺:http://m.ceoie.com/dwyershanghai/
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