超精密加工不仅仅要有超精密的回转运动,而且要有超精密的直线运动。花岗石构件导轨在高端机床上的应用具体结构有:滚动导轨、静压导轨、气垫导轨等形式.花岗石构件导轨具有摩擦力小、不磨损、运动平稳、精度高、没有热变形等优点。
以超精密镜面车削机床为例,花岗石构件气浮导轨应用在刀具滑板上。滑板具有一平面导轨和“V” 形导轨,设计时不仅要计算气膜刚度,而且要计算气垫块的结构刚性。在加工与装配时,其接触面应精密配研,平面气垫块在装配前应研磨,V形气垫是在装配球面支撑座后,装在滑板下与V形导轨配研。研磨后再将气垫浸渗至气膜厚度设计值。在设计时应有高灵敏度的压力传感器,当气压低于气垫所需的压力时应自动关机来保护导轨。在设计气源时,必须经过过滤水、油、空气中的大粒度的灰尘,同时应对过滤后空气进行干燥处理和温控处理,以达到精密和超精密加工的要求。
花岗石构件导轨经HP5529A红外线准直仪检测结果表明,气垫滑板的运动平稳性较其它形式的导轨要明显改善。